Ključna razlika med mikro analizo in polmikro analizo je, da se z mikro analizo analizira material z maso manj kot 10 mg, medtem ko se s pol mikro analizo analizira material z maso približno 100-500 mg.
Mikro in polmikro analiza sta dve vrsti kvalitativne analize, to je analiza materiala, ki temelji na njihovih lastnostih namesto na njihovih količinah. Mikro analiza se nanaša na analizo materiala z velikostjo delcev v mikro lestvici. Za mikro analizo se lahko uporabljajo različne metode. Semi mikro analiza pa je razvita metoda mikro analize.